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Pd게이트 MOS센서의 수소검지특성에 박막성질이 미치는 영향 = The effect of the thin film properties on the hydrogen sensing performance of Pd gate MOS sensorlink 하정균; Ha, Jeong-Kyun; 박종욱; Park, Chong-Ook, 한국과학기술원, 1997 |
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