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(A) study on the active and gate insulator processed by plasma-enhanced atomic layer deposition in oxide thin-film transistors for the High resolution display = 고해상도 디스플레이용 산화물 박막트랜지스터를 위한 플라즈마 원자층 증착법의 활성층과 절연층에 대한 연구link Ko, Jong Beom; 고종범; Park, Sang-Hee; 박상희, 한국과학기술원, 2016 |
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