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ALD-TiN을 이용한 MOCVD Al박막의 표면 거칠기 개선에 관한 연구 = A study on the surface morphology improvement of MOCVD Al film using ALD-TiNlink 이현배; Lee, Hyun-Bae; et al, 한국과학기술원, 1999 |
MOCVD 법에의한 $Pb(Zr_xTi_{1-x})O_3$ 박막의 증착거동 및 박막의 전기적특성에 관한 연구 = A study on the deposition behavior and electrical properties of PZT thin film by MOCVDlink 김영민; Kim, Young-Min; et al, 한국과학기술원, 1995 |
MOCVD법으로 제조한 PZT박막에서의 $PbTiO_3$ buffer층의 영향 = The effects of $PbTiO_3$ buffer layer onPZT thin fIlms by MOCVDlink 박용준; Park, Yong-Joon; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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