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Modeling and simulation for wafer temperature uniformity in RTP system = RTP 시스템내의 웨이퍼 온도 균일도를 위한 모델링 및 모사link Park, Hyung-Jin; 박형진; Park, Sun-Won; 박선원, 한국과학기술원, 1998 | |
Control and optimization of cold recovery processes of naphtha cracking center using dynamic simulation = 동적모사를 이용한 납사분해공장 저온분리공정의 제어 및 최적화link Moon, Sung-Wook; 문성욱; Park, Sun-Won; 박선원, 한국과학기술원, 1998 |
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