Showing results 2 to 3 of 3
Modeling and simulation for wafer temperature uniformity in RTP system = RTP 시스템내의 웨이퍼 온도 균일도를 위한 모델링 및 모사link Park, Hyung-Jin; 박형진; et al, 한국과학기술원, 1998 |
Optimization of operating conditions for cold recovery processes of naphtha cracking center = 납사분해공장 저온분리공정의 조업조건 최적화link Song, Je-Hoon; 송제훈; et al, 한국과학기술원, 1999 |
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