SnO2 박막이 집적된 공중 부유 빔 마이크로히터를 이용한 저전력 CO 가스 감지
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 최광욱 | ko |
| dc.contributor.author | 이재신 | ko |
| dc.contributor.author | 서민호 | ko |
| dc.contributor.author | 조민승 | ko |
| dc.contributor.author | 유재영 | ko |
| dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
| dc.date.accessioned | 2018-12-20T02:17:37Z | - |
| dc.date.available | 2018-12-20T02:17:37Z | - |
| dc.date.created | 2018-11-29 | - |
| dc.date.issued | 2018-04-06 | - |
| dc.identifier.citation | 제 20회 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/247518 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 마이크로나노시스템학회 | - |
| dc.title | SnO2 박막이 집적된 공중 부유 빔 마이크로히터를 이용한 저전력 CO 가스 감지 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 제 20회 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주 KAL 호텔 | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
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- EE-Conference Papers(학술회의논문)
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