건식 식각 가능한 희생층 기반의 기계식 연동 방식을 통한 새로운 나노와이어 전사 방법
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 서민호 | ko |
| dc.contributor.author | 박상현 | ko |
| dc.contributor.author | 유재영 | ko |
| dc.contributor.author | 임성규 | ko |
| dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
| dc.date.accessioned | 2018-12-20T02:17:28Z | - |
| dc.date.available | 2018-12-20T02:17:28Z | - |
| dc.date.created | 2018-11-29 | - |
| dc.date.issued | 2018-04-07 | - |
| dc.identifier.citation | 제 20회 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/247515 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 마이크로나노시스템학회 | - |
| dc.title | 건식 식각 가능한 희생층 기반의 기계식 연동 방식을 통한 새로운 나노와이어 전사 방법 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 제 20회 한국MEMS학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주 KAL 호텔 | - |
| dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박상현 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 임성규 | - |
- Appears in Collection
- EE-Conference Papers(학술회의논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.