유기발광소자를 위한 초박막 $Al_2O_3$ / MgO 나노라미네이트 구조가 삽입된 유연한 다층 봉지막 연구

Abstract

최근 IOT, 휴대용 의료 디바이스, 스마트 기기 등에 적용 가능한 유연한 유기발광소자에 대한 개발이 적극적으로 이루어지고 있다. 유기발광소자는 플렉시블 디스플레이에 적용하기에 많은 장점을 가지고 있지만 수분 및 산소에 취약하다는 단점이 있다. 본 연구에서는 유기발광소자에 적용 가능한 유연한 다층 봉지막을 개발하고자 하였다. 박막 특성이 우수한 Al2O3 및 수분 저장능력을 가진 MgO 나노라미네이트 구조를 hybrimer 유기물 층과 함께 적층한 multi-barrier 형태를 이용하였다. ALD를 이용하여 각각 1nm 두께의 초박막 Al2O3/MgO 나노라미네이트 구조가 포함된 multi-barrier를 제작하였다. 총 두께 290nm의 2.5 dyad multi-barrier는 1.69 × 10-5g/m2/day의 WVTR 특성을 나타내었으며 bending radius 3cm, 1000회 반복의 bending test 이후에도 7.85 × 10-5g/m2/day로 유사한 성능을 보여 플렉시블 봉지막으로서 적합하였다. 또한 본 봉지막으로 유기발광소자를 박막봉지하여 봉지 전후 전기적 특성에 차이가 없고 봉지된 소자를 4일 동안 30℃, 90% R.H의 항온항습 환경에 보관후 cell image에 큰 변화가 없음을 확인하였다.