전자부품의 자동화된 검사를 위한 엑스선 영상 센서에 대한 연구

Abstract

뢴트겐의 엑스선 발견 이후 엑스선 영상 분야는 피사체 내부의 상태를 파악 할 수 있는 특성으로 인해 의료 및 비 파괴 분야에서 다양하게 활용되고 있다. 최근 전자 및 전장 부품의 시장 확대와 신뢰성 문제로 인해 평판형 엑스선 센서에 대한 시장 수요가 늘어가고 있는 가운데, 전수검사를 위한 고속 엑스선 촬영 기술이 화두가 되고 있다. 본 학위 논문에서는 CMOS 기술을 활용한 정질 실리콘 기반의 평판형 엑스선 영상 센서의 고속 촬영 시 발생하는 영상 지연을 억제하기 위한 기술을 제안함과 동시에 기존의 센서에 존재하지 않는 에너지 분해 능력을 가진 센서 기술을 제안하고 그 성능의 효용성을 평가하고자 한다.