전자선 조사와 열분해를 이용한 패턴화된 금 나노입자 필름제조 방법, 이에 의해 제조된 금 나노입자 필름 및 상기 금 나노입자 필름을 포함하는 생화학 센서

Abstract

본 발명은 전자선 조사와 열분해를 이용한 패턴화된 금 나노입자 필름 제조 방법, 이에 의해 제조된 금 나노입자 필름 및 상기 금 나노입자 필름을 포함하는 생화학 센서에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 금 전구체 필름에 전자선을 선택적으로 조사하여 패턴화된 금 전구체 필름을 만들고, 열분해를 통해 상기 패턴화된 금 전구체 필름을 금 나노입자로 변환시켜 패턴화된 금 나노입자 필름을 제조하는 방법, 이에 의해 제조된 금 나노입자 필름 및 상기 금 나노입자 필름을 포함하는 생화학 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 선택적 전자선 조사를 통하여 대면적에 패턴화된 금 전구체 필름을 효율적으로 생산할 수 있고, 열분해를 통하여 고순도의 패턴화된 금 전구체 필름을 대면적 및 고속 생산할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 금 나노입자 필름은 전기적, 광학적 특성이 매우 우수하므로, 미소량의 생화학물질을 감지할 수 있는 민감도가 우수한 생화학 센서로 활용될 수 있을 뿐만 아니라, 단백질과 같은 특정 생물학적 작용기를 인식하는 바이오칩 (biochip)에도 유용하게 사용할 수 있다.