탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관

Abstract

본 발명은 초소형 엑스선관에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용하여 종래의 열전자 방출구조가 지니고 있는 발생 전자빔의 선질 저하로 인한 엑스선 출력 한계를 해소할 수 있는 초소형 엑스선관을 제공하는데 있다. 이를 위해 본 발명에 따른 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관은 금속 와이어의 편평한 일단면에 탄소나노튜브 전자빔원이 형성된 팁 형 음극 전극과, 상기 음극 전극에 이격되어 설치되며 상기 음극 전극의 반대 방향으로 나팔관형으로 벌어져서 형성된 게이트 전극과, 상기 게이트 전극에 이격되어 설치되는 엑스선 발생부를 포함하는 전자총부 및 상기 게터 타겟의 전면에 설치되며, 인출된 전자빔을 집속 또는 발산하게 하는 전기장을 형성하는 전기장 조절 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관을 개시한다.