광기전력 장치 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명의 광기전력 장치의 제조 방법은 트렌치들이 형성된 기판을 준비하는 단계, 상기 기판상에 제1 전극층과, 상기 제1 전극층보다 작은 전기 저항을 지니고 상기 제1 전극층의 일부 영역과 접촉하며 상기 제1 전극층의 위 또는 밑에 위치하도록 보조 전극층을 형성하되, 상기 제1 전극층 및 상기 보조 전극층이 상기 트렌치들 내부에서 단절되게 형성하는 단계, 상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층 상에 광전변환층을 형성하는 단계, 상기 광전변환층 상에 제2 도전성물질을 비스듬히 증착하여 제2 전극층을 형성하는 단계, 상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층이 노출되도록 상기 트렌치들 내부에 형성된 광전변환층을 식각하는 단계 및 상기 영역들 중 빛에 의하여 전기가 생성되는 하나의 영역에 형성된 상기 제1 전극층 또는 상기 보조 전극층과, 빛에 의하여 전기가 생성되는 다른 하나의 영역에 형성된 상기 제2 전극층이 상기 트렌치 내부에서 전기적으로 연결되도록 제3 도전성 물질을 상기 제2 전극층 상에 비스듬히 증착하여 도전층을 형성하는 단계를 포함한다.