매우 얇은 보호막을 갖는 광음극

Abstract

본 발명은 광전효과를 이용하여 광전자 발생을 위하여 사용하는 광전면(光電面)이 대기와 접촉을 하게 될 때 기존의 대부분의 광전면 재료가 산소와의 높은 반응성으로 인하여 광전효율이 급격하게 저하되는 현상을 방지하기 위한 광전면보호막과 광음극(photocathode)의 구조에 관한 것으로, 예를 들어, 얇은 다이아몬드성 탄소막을 광전면보호막으로 사용하여, 광전면과 대기와의 차단을 통한 광전면 보호의 기능을 수행함과 동시에 광전면에서 발생하는 전자는 얇은 두께로 증착된 다이아몬드성 탄소막을 터널링으로 통과하게 하여 광음극의 성능에는 영향을 주지 않도록 한다.이러한 보호막을 사용함으로써 광전면 증착 이후의 공정들을 대기 중에서 자유롭게 행할 수 있게 되어 공정을 단순화시켜서 공정 단가를 낮추고 또한 대면적의 광음극을 이용한 소자나 장치의 제작을 용이하게 하는 효과가 있다광음극, 광전물질, 광전효과, 투명기판, 투명전도막, 광전면보호막, 터널효과, 다이아몬드성 탄소