경사단면 광섬유 광원을 이용한 위상천이 점회절 간섭계

Abstract

본 발명은 물체의 표면 형상 측정에 이용되는 위상천이 점회절 간섭계에 관한 것으로, 특히 레이저 발생장치(11)에서 출사된 단색광의 광량을 조절하는 ND (Neutral Density) 필터(13)와; 상기 ND 필터(13)에 의해 광량이 조절된 단색광을 분기시켜 측정파면을 형성하기 위한 측정 광섬유(measurement fiber)(18)와 기준파면을 형성하기 위한 기준 광섬유(reference fiber)(19)의 일측 단부로 각각 입사시키는 광분할기(14)와; 상기 기준 광섬유(19)가 소정횟수 권선되어 있으며 수축 및 팽창에 따라 상기 기준 광섬유(19)를 인장시켜 광경로의 변화를 통해 위상천이를 실현하는 튜브형 압전소자(20)를 구비하되; 상기 측정물(22)에 대향되는 측정 광섬유(18)의 단부는 경사지게 형성되어 있으며, 상기 광섬유(18)의 경사단면은 광섬유(18)에서 생성된 구면파를 투과시키고 측정물(22)에 의해 반사된 반사파를 상측에 위치한 CCD 카메라(23)로 반사시키기 위하여 광분할 코팅되어 있으며, 상기 측정 광섬유(18)의 경사단면에서 반사되는 반사파와 기준 광섬유(19)의 기준파가 중첩되어 간섭무늬를 형성하도록 상기 기준 광섬유(19)의 단부가 측정 광섬유(18)의 경사단면에 인접하게 장착되는 것을 특징으로 한다.