경사단면 광섬유 광원을 이용한 피조 간섭계

Abstract

본 발명은 물체의 표면 형상 측정에 이용되는 피조(Fizeau) 간섭계에 관한 것으로, 특히 단일모드 광섬유(12)를 통해 출사되는 레이저 발생장치(11)의 점광을 평행광으로 변환시키는 콜리메이터(15)와, 상기 콜리메이터(15)에 의해 변환된 평행광의 일부를 측정물(18)로 투과시키는 동시에 일부를 반사시켜 기준파면을 생성하는 기준평판(17)과, 상기 측정물(18)에 의해 반사된 측정파면과 상기 기준평판 (17)에 의해 생성된 기준파면의 간섭무늬를 CCD 카메라(14)로 검출하여 물체의 표면 형상을 측정하는 통상적인 피조(Fizeau) 간섭계에 있어서: 일측 단부가 상기 단일모드 광섬유(12)에 결합되며 타측 단부의 단면이 경사지게 형성된 경사단면 광섬유(28)를 더 포함하되, 상기 경사단면 광섬유(28)의 경사단면에는 광분할 코팅이 되어 있는 것을 특징으로 한다. 따라서, 측정 파면에 구면 수차를 비롯한 여러가지 수차를 유발시키는 광분할기를 제거할 수 있어 피조 간섭계의 측정 결과의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.피조 간섭계, 경사단면, 광섬유