펨토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법Substrate Dicing Method by Nonlinear Focal Shift using Femtosecond Pulse Lasers
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김승우 | ko |
| dc.contributor.author | 김영진 | ko |
| dc.contributor.author | 김윤석 | ko |
| dc.contributor.author | 유준호 | ko |
| dc.contributor.author | 김승만 | ko |
| dc.contributor.author | 박상욱 | ko |
| dc.contributor.author | 한승회 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T12:41:34Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T12:41:34Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/236235 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법에 관한 것으로, 펨토초 펄스 레이저를 이용한 절단방법에 있어서, 펨토초 펄스 레이저를 가공물에 조사하여 다중광자이온화(Multi-Photon Ionization)를 기반으로 플라즈마 디포커싱(Plasma Defocusing)에 의해 개질영역을 형성시키고, 여기서 형성된 상기 개질영역과 플라즈마 디포커싱 현상에 의한 레이저의 공간적 집속을 방해시켜 상기 펨토초 펄스 레이저의 초점을 가공물 깊이 방향으로 이동시키면서 개질영역을 길어지게 형성하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 비선형 초점이동을 통해 기존 필라멘트 기반에서는 가공이 불가능한 얇은 투명재료에 효율적인 절단 및 가공이 가능한 이점이 있다. | - |
| dc.title | 펨토초 펄스 레이저의 비선형 초점이동을 통한 절단방법 | - |
| dc.title.alternative | Substrate Dicing Method by Nonlinear Focal Shift using Femtosecond Pulse Lasers | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2010-0057009 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1164418-0000 | - |
| dc.date.application | 2010-06-16 | - |
| dc.date.registration | 2012-07-04 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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