본 발명은 액상의 금속을 용침몰드에 침투시키는 용침방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 배기구가 형성된 진공실을 제공하는 단계; 상기 진공실 내부에 금속시료가 담긴 용기를 배치하고 그 위쪽에 용침성을 시험하기 위한 홈이 형성된 용침몰드를 배치하는 단계; 상기 배기구를 통해 공기를 흡출하여 진공실 내부와 용침몰드의 홈에 존재하는 이물질을 제거하는 단계; 용기에 담긴 금속시료를 용융시키는 단계; 및 상기 용침몰드의 단부가 용융된 금속시료에 잠기도록 한 후 용침이 원활하게 이루어지도록 용침몰드를 초음파 가진하는 단계를 포함한다. 이와 같이 이루어진 본 발명은 마이크로 스케일에서도 쉽게 용침작업을 수행하는 효과가 있다.