금속패턴어레이를 이용한 초고감도 테라헤르쯔 광전도 안테나 및 이의 제조방법Ultrasensitive Terahertz photoconductive antenna using metal pattern arrays and method for the same
본 발명은 금속패턴어레이를 이용한 초고감도 테라헤르쯔 광전도 안테나 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 표면 플라스몬 공명(surface plasmon resonance)을 이용한 전자기파의 증폭으로 테라헤르쯔 생성 출력과 측정 감도를 높일 수 있는 금속패턴어레이를 이용한 초고감도 테라헤르쯔 광전도 안테나 및 이의 제조방법을 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명에 따른 금속패턴어레이를 이용한 초고감도 테라헤르쯔 광전도 안테나는 안테나 기판과, 상기 안테나 기판의 구동전극면에 적어도 하나 이상의 패턴이 연속적으로 배열되어 패터닝된 800㎚보다 작은 크기의 극미세 금속패턴어레이 및 상기 안테나 기판의 구동전극면에 구비되는 구동전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-02-09
- Application Date
- 2009-05-27
- Application Number
- 10-2009-0046469
- Registration Date
- 2012-02-09
- Registration Number
- 10-1117211-0000
- Appears in Collection
- BiS-Patent(특허)
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