마이크로웨이브를 이용한 피가공물의 표면처리방법

Abstract

본 발명은 마이크로웨이브에 의하여 전기전도성을 갖는 타깃에 유도되는 전하를 이용하여 피가공물의 표면을 처리하는 마이크로웨이브를 이용한 피가공물의 표면처리방법을 개시한다. 본 발명은 피가공물을 준비하고, 피가공물의 표면에 전기전도성을 갖는 타깃을 제공한다. 타깃에 마이크로웨이브를 조사하고, 마이크로웨이브의 조사에 의하여 타깃으로부터 열과 스파크를 발생하여 피가공물의 표면에 미세한 굴곡들을 형성한다. 본 발명에 의하면, 마이크로웨이브에 의하여 전기전도성을 갖는 타깃에 유도되는 전하를 이용하여 피가공물의 국부적인 면적에만 열을 발생시켜 표면에 미소 변화를 유도함으로써, 피가공물의 표면처리를 효율적으로 실시할 수 있다. 또한, 피가공물의 표면 일부에 높은 전기전도성을 가진 층을 형성하여 전기접촉저항을 감소시킬 수 있으며, 피가공물의 손상을 최소화하여 표면거칠기를 조절할 수 있는 효과가 있다.