폴리머 미세유체채널 제조방법, 이에 의하여 제조된 폴리머 미세유체채널 및 이를 포함하는 바이오 칩Method for manufacturing polymer microfluidic channel, polymer microfluidic channel manufactured by the same and bio-chip comprising the same

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폴리머 미세유체채널 제조방법, 이에 의하여 제조된 폴리머 미세유체채널 및 이를 포함하는 바이오 칩이 제공된다. 본 발명에 따른 폴리머 미세유체채널 제조방법은 실리콘 기판을 식각하여, 소정 단면 형상의 미세유체채널을 음각 형태로 제조하는 단계; 상기 실리콘 기판에 제 1 폴리머를 도포한 후, 경화시켜 제 1 폴리머 주형을 형성하는 단계; 상기 형성된 제 1 폴리머 주형을 상기 실리콘 기판으로부터 분리시키는 단계; 상기 제 1 폴리머 주형을 또 다른 제 2 폴리머층에 가압시켜, 상기 제 1 폴리머 주형에 형성된 양각 형태의 미세유체채널을 상기 제 2 폴리머층에 음각 형태로 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 폴리머 미세유체채널 제조방법은 PDMS 뿐만 아니라 PMMA와 같은 다양한 재질의 고분자에도 적용될 수 있다. 또한, 몰더-몰더 임프린팅 방식으로 미세유체채널을 제조하므로, 공정이 간단하고, 경제적이다. 더 나아가, 원형, 삼각형 및 사각형 등의 다양한 형상으로 채널 형상을 제조할 수 있는 장점이 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
2011-05-20
Application Number
10-2011-0048079
Registration Date
2013-11-27
Registration Number
10-1336177-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/235856
Appears in Collection
CBE-Patent(특허)
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