순환유동층의 하방 접선 공기주입식 비기계적고체 재주입 장치MATERIAL INPUT DEVICE FOR CIRCULATORY FLUIDIZED BED
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김상돈 | ko |
| dc.contributor.author | 남궁원 | ko |
| dc.contributor.author | 김성원 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T12:27:03Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T12:27:03Z | - |
| dc.date.issued | 2000-01-05 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/235811 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 반도체 소자의 제조방법에 관한 것으로, 특히 건식식각과 습식식각을 혼용하여 자기정합적인 접촉창을 형성하는 접촉창을 갖는 반도체 소자의 제조 방법에 관한 것이다. 홀을 게이트 스페이서가 부분적으로 노출될 때 까지 층간절연층을 선택적으로 건식식각하여 접촉창이 형성될 영역에 형성된다. 측벽 스페이서를 홀의 측벽에 형성한다. 접촉창이 형성될 영역에 남아있는 층간절연층을 습식식각으로 제거하여 접촉창을 형성한다. | - |
| dc.title | 순환유동층의 하방 접선 공기주입식 비기계적고체 재주입 장치 | - |
| dc.title.alternative | MATERIAL INPUT DEVICE FOR CIRCULATORY FLUIDIZED BED | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김상돈 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 남궁원 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김성원 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1997-0046598 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0250625-0000 | - |
| dc.date.application | 1997-09-10 | - |
| dc.date.registration | 2000-01-05 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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