플렉서블 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자

Abstract

플렉서블 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 소자가 제공된다. 본 발명에 따른 플렉서블 소자 제조방법은 상기 방법은 복수의 소스, 드레인 영역을 포함하는 실리콘 기판상에 절연막을 적층하는 단계; 상기 절연막을 선택적으로 식각하여, 상기 실리콘 기판을 노출시킴으로써 상기 소스, 드레인 영역을 포함하는 소자 형성 영역을 정의하는 단계; 상기 절연막을 통하여 노출된 실리콘 기판을 비등방식각하는 단계; 및 상기 실리콘 기판으로부터 상기 비등방 식각된 소자 형성 영역을 PDMS에 의하여 플렉서블 기판으로 전사시키는 단계를 포함하며, 여기에서 상기 소자 형성 영역 상의 절연막 너비를 달리함으로써, 상기 소자 형성 영역을 상기 플렉서블 기판에 선택적으로 전사시키며, 요철 모양, 즉 일정한 단차가 있는 PDMS를 별도로 제조, 사용한 종래기술과 달리 평탄한 PDMS를 사용하여 선택적 전사를 함으로써 기존 기술의 단점, 예를 들면 PDMS의 새깅효과, 원하지 않는 반도체 소자의 전사, 낮은 정렬도 등을 효과적으로 극복할 수 있다.