박막형 미소온도센서와 박막형 미소온도센서의 제작방법

Abstract

본 발명은 스퍼터링을 이용한 박막형 미소온도센서의 제작공정과 상기 공정에 의해 제작된 박막형 미소온도센서에 관한 발명이다. 본 발명은 종래의 열전대로 온도를 측정하는 경우에 미소영역의 온도를 쉽게 측정하지 못하는 단점을 개선하고, 종래의 다이오드센서(Diode sensor)나 저항온도검출기(Resistance Thermal Detector, 약칭으로 RTD)와 같이 온도에 따른 전압신호의 캘리브레이션 (Calibration)을 행하는 후공정이 불필요한 박막형 미소온도센서를 제공함에 그 목적이 있다. 또한 본 발명에 의한 박막형 미소온도센서의 제작방법은 기존의 다이오드 센서나 저항온도검출기의 제작공정과 달리 아주 단순한 공정을 사용하여 간편하게 제작할 수 있어 시간과 비용을 절감하는 효과가 있다.