나노입자위의 유기분자층의 공학적 제어를 통한 나노미터 수준의 마찰력 및 점착력 제어Tuning nanoscale friction using nanopartiecles with engineering of organic capping layer
본 발명은 윤활성 유기분자층과 나노 입자의 복합체를 이용하여 마이크로단위 소자(MEMS; micro electro mechanical systems) 또는 나노단위 소자(NEMS; nano electro mechanical systems)의 작동효율을 향상시키는 방법에 관한 것으로서, 마이크로단위 소자 또는 나노단위 소자 표면의 마찰력 및 점착력을 제어함으로써 소자의 작동효율을 향상시킬 수 있다는 유리한 효과가 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2013-01-22
- Application Date
- 2011-04-15
- Application Number
- 10-2011-0035312
- Registration Date
- 2013-01-22
- Registration Number
- 10-1227109-0000
- Appears in Collection
- EEW-Patent(특허)
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