타원편광분석장치 및 타원편광분석장치를 이용한 입사각정렬방법

Abstract

본 발명은 반도체 박막의 물성을 측정하는 타원편광분석기에 관한 것으로, 방사방향으로 다수의 제 1홈(17)이 형성되고, 원주방향으로 제 2홈(18)에 형성된 반원형상의 메인 프레임(16); 상기 메인 프레임(16)의 중심영역에 설치되고, 3축방향으로 운동이 가능한 시편 스테이지(11); 상기 메인 프레임(16)과 접하는 면에 상기 제 1홈(17)에 삽입 가능한 두개의 제 1 볼(31) 및 제 2볼(32), 상기 제 2홈(18)에 삽입 가능한 제 3볼(33) 및 상기 메인 프레임(16)에 밀착되어 위치를 고정할 수 있는 밀착수단을 포함하고 편광이 조사되는 편광부(12); 및 상기 메인 프레임(16)과 접하는 면에 상기 제 1홈(17)에 삽입 가능한 두개의 제 1 볼(31) 및 제 2볼 (32), 상기 제 2홈(18)에 삽입 가능한 제 3볼(33) 및 상기 메인 프레임(16)에 밀착되어 위치를 고정할 수 있는 밀착수단을 포함하고, 시편 스테이지(11) 상에 놓인 시편의 상부면에서 반사된 빛을 수광하는 검광부(14);를 포함하는 것을 특징으로 하는 타원편광분석장치에 의하여 달성된다.타원, 편광, 분석장치, 반도체, 박막, 기구학적 커플링