나노입자빔을 이용한 박막증착 방법 및 장치(METHOD AND APPARATUS FOR FABRICATING THIN FILM BY USING NANO PARTICLE BEAM)METHOD AND APPARATUS FOR FABRICATING THIN FILM BY USING NANO PARTICLE BEAM

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나노입자빔을 이용한 박막증착 방법 및 장치에 대해 개시한다. 본 발명의 가장 큰 특징은, 박막의 구성요소를 이루는 나노가루를 플라즈마 가스에 혼합하여 대전시킨 후 전압을 가하여 가속된 나노입자빔을 기판에 증착하여 박막을 만든다는 것이다. 본 발명에 따르면, 성분비 조절이 매우 쉽고, 화학반응이 따로 필요 없으므로 복잡한 성분비를 갖는 박막을 쉽게 제작할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원,한국전기연구원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2008-08-28
Application Date
2007-06-07
Application Number
10-2007-0055508
Registration Date
2008-08-28
Registration Number
10-0856545-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/235299
Appears in Collection
PH-Patent(특허)
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