다층 구조를 갖는 금속산화물 튜브를 이용한 가스센서 및 그 제조방법

Abstract

본 발명은 열린 기공이 적어도 하나 이상 포함된 불연속적인 실린더 형상의 다층 튜브 구조를 포함하는 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상부층/중심층/하부층의 박막 구조에서 중심층에 유해환경가스에 잘 반응하는 N-타입 내지는 P-타입 금속산화물 반도체 층을 형성하고, 그 상부층과 하부층에 서로 상이한 타입을 갖는 금속산화물 반도체 층 내지는 촉매층을 샌드위치 구조로 형성하여 가스반응 감도를 크게 개선시킨 가스센서 및 그 제조방법을 제공한다. 실린더 형상의 다층 튜브 구조는 고분자 나노섬유를 템플레이트로 이용하여 제조되기 때문에, 튜브의 직경을 고분자 섬유 두께 조절로 손쉽게 조절가능하며, 증착 공정을 통해 감지층을 형성하기 때문에, 튜브의 하부에 잘 코팅이 되지 않아서 튜브의 일단면에 열린 기공구조를 갖는 불연속적인 튜브 구조가 형성되어 유해환경가스의 확산이 빠르게 이루어질 수 있기 때문에 가스 감지가 빠른 시간 내에 이루어질 수 있다.