나노구조물 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조물, 이를 위한 제조장치

Abstract

나노구조물 제조방법, 이에 의하여 제조된 나노구조물, 이를 위한 제조장치가 제공된다. 본 발명에 따른 나노구조물 제조방법은 나노구조물 전구체용액에 침지된 기판에 광에너지를 인가하는 방식으로 상기 기판상에 나노구조물을 성장시키며, 본 발명에 따른 나노구조물 제조방법은 고온의 증발 과정이 필요 없으므로, 경제성 등이 우수하다. 또한, 종래의 기상에서 진행되는 VLS법과는 달리 본 발명은 액상의 환경에서 나노구조물 성장 반응을 진행하므로, 경제성과 더불어 안전성이 우수하고, 보다 환경 친화적이다. 더 나아가, 원하는 각도와 위치에서 광에너지를 집적시키는 기술적 구성을 통하여 원하는 형태의 나노구조물을 소자에서 직접 제조할 수 있으며, 이에 따라 제조된 나노구조물을 다시 조립, 집적시키는 공정이 불필요하게 되는 장점이 있다.