전자소자의 불량여부를 검사하는 접속소자 및 이의 제조방법

Abstract

본 발명은 전자소자의 불량여부를 검사하는 접속소자에 관한 것으로서, 지지부, 각각의 지지부의 한 끝으로부터 지지부에 비하여 좁은 폭으로 연장되는 연장부, 연장부의 끝 부분에 형성된 접촉부로 이루어진 다수 개의 전도성 박판과, 전도성 박판을 전기적으로 서로 분리시키는 다수 개의 절연성 박판을 포함한다. 본 발명의 접속소자는 연장부가 수직방향으로 탄성 변형이 가능하도록 이루어져 있으므로 검사대상 패드들에 단차가 존재하는 경우에도 안정적으로 불량여부를 검사할 수 있고, 전도성 박판 사이에 게재된 절연성 박판에 의하여 각각의 접촉부가 전기적으로 분리되므로 접촉부의 단락을 방지할 수 있다. 또한, 강성부재로 휨 변형을 방지하고, 고정부재로 두께 방향 변형을 방지할 수 있으므로 접속소자의 수명과 검사의 정확도를 향상시킬 수 있다. 본 발명의 접속소자 제조방법에 따르면, 진공식각공정을 이용하지 않거나 최소화할 수 있으므로 접속소자의 제조공정을 단순화하여 제조비용을 감소시킬 수 있다.