엑스선 디지털 이미지 센서 장치, 엑스선 디지털 이미지 장치 및 엑스선 디지털 이미지 센서 제조 방법

Abstract

엑스선 디지털 이미지 센서 장치, 엑스선 디지털 이미지 장치 및 엑스선 디지털 이미지 센서 제조 방법이 개시된다. 본 발명은 기판; 픽셀 단위 면적당 포토다이오드 면적 비율을 감소시켜 소정의 값 이하의 면적을 가지는 포토 다이오드를 포함하고, 상기 기판 위의 각각의 픽셀에 대응하는 복수의 이미지 센서; 상기 복수의 이미지 센서 각각의 포토 다이오드 위에 접합된 마이크로 렌즈; 및 상기 마이크로 렌즈 위에 증착되어 픽셀화된 섬광체를 포함하는, 엑스선 디지털 이미지 센서 장치를 제공한다. 본 발명의 실시 예들에 의하면, 엑스선 이미지 센서의 구조를 개선함으로써, 이미지 센서의 각 픽셀위에서 섬광된 빛을 다른 픽셀로 크로스토킹 되지 않고 해당 픽셀에서 바로 수광하여 전기적 신호로 변환된 유효신호를 향상시킬 수 있고, 엑스선 촬영에 요구되는 환자의 피폭량의 감소시킬 수 있다.