회절 격자를 이용한 광 삼각법 변위 센서

Abstract

본 발명은 회절 격자를 이용한 광 삼각법 변위 센서에 관한 것으로, 특히 결상렌즈와 수광소자 사이에 투과형 회절 격자를 삽입하여, 상기 결상렌즈를 통과한 빛을 여러 가닥으로 나누어 수광소자에 상을 맺히게 적용함으로서, 동일한 샘플링 타임 내에 기존의 센서 헤드와 동일한 크기로 산술 평균법을 구현하고자 하는 회절 격자를 이용한 광 삼각법 변위 센서장치에 관한 것이다. 이를 위해, 일정한 강도의 광원을 발생하는 광원소자와; 상기 광원소자의 광원을 입사받아, 측정 표면으로 입사하는 집광렌즈와; 상기 측정 표면에 입사된 광원이 반사하여 입사되는 결상렌즈와; 상기 결상렌즈를 통한 반사광을 다수의 회절광으로 발생하는 투과형 회절 격자와; 상기 투과형 회절 격자를 통해 입사된 회절광의 상이 형성되는 수광소자를 포함하여 구성되는 것이 특징이다. 투과형 회절 격자, 수광소자, 결상렌즈, 집광렌즈, 변위 센서