패턴형성방법 및 패턴형성장치METHOD AND APPARATUS FOR FABRICATING PATTERN
본 발명은 패턴형성방법 및 패턴형성장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴형성방법은, 기판 표면에 자기조립 단분자막을 형성하는 제1 단계, 자기조립 단분자막과 금속기판을 서로 마주보도록 위치시키는 제2 단계, 기판으로부터 금속기판 방향으로 레이저를 조사하여 상기 기판과 상기 금속기판 사이의 영역에 플라즈마를 발생시키고, 플라즈마에 의하여 상기 기판과 상기 금속기판 사이의 영역에 형성되어 있는 자기조립 단분자막을 제거하는 제3 단계를 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2011-09-19
- Application Date
- 2009-08-06
- Application Number
- 10-2009-0072290
- Registration Date
- 2011-09-19
- Registration Number
- 10-1067345-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
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