마이크로 자이로스코프( )

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dc.contributor.author이종원ko
dc.date.accessioned2017-12-20T11:49:41Z-
dc.date.available2017-12-20T11:49:41Z-
dc.date.issued2003-11-24-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/234800-
dc.description.abstract본 발명에 따르면, 기판, 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 제 1 감지 수단(31), 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 구동 수단(32), 상기 제 1 감지 수단(31) 및 상기 구동 수단(32)의 평면으로부터 수직 상방으로 소정의 높이로 이격되어 있으며 다수의 제 1 홈(35) 및, 다수의 제 2 홈(36)을 지니는 진동 구조물(34), 상기 진동 구조물(34)을 상기 기판으로부터 소정의 높이로 유지시킬 수 있도록 상기 기판위에 형성된 지지부(39) 및, 진동 구조물(34)과 지지부(39) 사이를 연결시키는 탄성 부재(38)를 구비하는 마이크로 자이로스코프가 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프는 전체적인 구성이 매우 단순화되었으므로 제작이 용이할뿐만 아니라 사용도중에 고장이 발생할 가능성이 거의 없는 우수한 성능을 발휘한다.-
dc.title마이크로 자이로스코프-
dc.title.alternative( )-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor이종원-
dc.contributor.assignee삼성전자주식회사,한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-1995-0059492-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-0408494-0000-
dc.date.application1995-12-27-
dc.date.registration2003-11-24-
dc.publisher.countryKO-
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ME-Patent(특허)
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