마이크로 자이로스코프( )

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본 발명에 따르면, 기판, 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 제 1 감지 수단(31), 스트라이프 형상인 다수의 양극과 음극이 상호 교대하여 평행하게 배열된 구동 수단(32), 상기 제 1 감지 수단(31) 및 상기 구동 수단(32)의 평면으로부터 수직 상방으로 소정의 높이로 이격되어 있으며 다수의 제 1 홈(35) 및, 다수의 제 2 홈(36)을 지니는 진동 구조물(34), 상기 진동 구조물(34)을 상기 기판으로부터 소정의 높이로 유지시킬 수 있도록 상기 기판위에 형성된 지지부(39) 및, 진동 구조물(34)과 지지부(39) 사이를 연결시키는 탄성 부재(38)를 구비하는 마이크로 자이로스코프가 제공된다. 본 발명에 따른 마이크로 자이로스코프는 전체적인 구성이 매우 단순화되었으므로 제작이 용이할뿐만 아니라 사용도중에 고장이 발생할 가능성이 거의 없는 우수한 성능을 발휘한다.
Assignee
삼성전자주식회사,한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2003-11-24
Application Date
1995-12-27
Application Number
10-1995-0059492
Registration Date
2003-11-24
Registration Number
10-0408494-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/234800
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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