복수의 캔틸레버를 구비하는 다채널 마이크로 음향 장치 및그 제조 방법

Abstract

본 발명은 길이가 각각 다른 캔틸레버를 제작하여 저주파수에서 고주파수까지의 음향에 응답성을 갖도록 하는 복수의 캔틸레버를 구비하는 다채널 마이크로 음향 장치 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 다채널 마이크로 음향 장치는 하면의 일부에 함몰부가 형성된 실리콘 기판과, 실리콘 기판의 함몰부상에 형성된 막이 복수의 장홈에 의하여 구분되는 띠형상의 복수의 캔틸레버와, 복수의 캔틸레버 단부의 상면에 형성된 하부 전극과, 하부 전극과 절연막으로 전기적으로 차단되도록 형성된 상부 전극과, 상부 전극 및 하부 전극에 전기적으로 각각 연결되도록 형성된 복수의 압전소자로 구성된다. 이에 따라, 본 발명은 서로 다른 공진 주파수를 가져 서로 다른 주파수 대역에서 동작하는 복수의 미세 캔틸레버를 구비하는 마이크로 음향 장치를 제조할 수 있다.