이중 Ｈ구조를 이용한 장행정 6축 운동 스테이지

Abstract

본 발명은 6축 운동을 하는 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 I형빔을 사용한 2중 H구조를 형성하여 초정밀 구동에 필요한 구동력과 온도 변화 및 힘의 불균형에 따른 변형을 견딜 수 있고 시스템의 안정성을 유지할 수 있도록 2중 H구조와 삼각형 대칭적 구조를 이용한 6축 운동 스테이지에 관한 것이다. 장행정 초정밀 구동과 빠른 응답을 갖는 시스템을 위하여 이중 서보 구조와 대칭적인 선형모터를 이용한다. 이중서보구조는 평면 단행정 운동을 위한 보이스코일모터(VCM), 피치와 롤 및 상하 단행정을 솔레노이드와 영구자석을 이용한 솔레노이드부 그리고 장행정 선형모터를 사용하며, 장행정과 단행정 사이에 기계적 제약조건이 발생되지 않도록 시스템을 구현하고, 두 구동부 사이의 상대거리를 근접센서를 이용하여 제어한다. 온도 변화에 따른 시스템 변형문제를 해결하기 위해 단행정 구동부는 대칭인 삼각형 구조, 장행정 구동부는 축대칭 구조를 갖는다.6축운동, 스테이지, H구조, I형빔, 단행정, 장행정, 자기회로, 솔레노이드