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EUV 리소그래피 펠리클 박막의 제조 방법 및 장치 나노종합기술원; 이기성; 박남수; 황해철; 강희오; 서창호 |
광증배소자 및 그 제조방법 나노종합기술원; 설우석; 박남수; 황해철; 박상현; 유동은; 이동욱; et al |
광학 위상 어레이 칩 내 나노 메탈 안테나의 제작 방법 및 그 소자 나노종합기술원; 유동은; 이동욱; 김기남; 박남수; 심갑섭; 한선규, 2019-01-09 |
실리콘 광전소자의 제조방법 나노종합기술원; 설우석; 이병주; 황해철; 박남수; 유동은; 이동욱, 2018-10-30 |
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