플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조장치, 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 그래핀Manufacturing apparatus and method for graphene using flash ramp, and graphene manufactured by the same
플래쉬 램프를 이용한 그래핀 제조방법, 제조장치 및 이를 이용하여 제조된 그래핀이 제공된다. 본 발명에 따른 그래핀 제조장치는 기판; 상기 기판의 일 측면으로 반응가스가 유입되는 유입부; 상기 유입된 반응가스가 상기 기판의 타 측면으로 배출되는 배출부; 및 상기 기판으로부터 이격되어 상기 기판에 빛을 조사하기 위한 플래쉬 램프를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 그래핀 제조방법 및 장치는 대면적으로 조사되는 플래쉬 램프의 열을 이용, 그래핀 성장가스를 반응시켜 기판 상에 그래핀을 성장시킨다. 따라서, 종래 기술에 비하여 보다 경제적인 방식으로, 대면적의 그래핀 제조가 가능하다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-10-31
- Application Date
- 2010-09-17
- Application Number
- 10-2010-0091640
- Registration Date
- 2012-10-31
- Registration Number
- 10-1198482-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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