DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 박규찬 | ko |
dc.contributor.author | 안병태 | ko |
dc.date.accessioned | 2017-12-20T11:32:09Z | - |
dc.date.available | 2017-12-20T11:32:09Z | - |
dc.date.issued | 2013-11-06 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/234231 | - |
dc.description.abstract | 본 발명은 다중 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 2개 이상의 증발물질을 기화시키고 기판에 분사하여 증착시키도록 구성되어, 증착 효율을 향상시킬 수 있도록 하는 다중 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치를 제공하는 것이다. | - |
dc.title | 다중 증발원 및 이를 이용한 박막 형성 장치 | - |
dc.title.alternative | MULTI-SOURCE AND APPARATUS FOR DEPOSITING THIN FILMS USING THE SAME | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 안병태 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 박규찬 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2011-0112097 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1328589-0000 | - |
dc.date.application | 2011-10-31 | - |
dc.date.registration | 2013-11-06 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.