하드 디스크 드라이브 슬라이더의 6자유도 운동 측정을위한 2단 스윙암 광학계(Stacked optical swing arm for measuring6-degrees-of-freedom motions of hard disk drive slider)

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본 발명은 하드 디스크 드라이브 슬라이더의 6자유도 동적특성을 정확하게 측정하기 위해 2단 스윙암 광학계를 제공하는 데 그 목적이 있다.본 발명에 따르면, 레이저광선 주사장치(120)로부터 주사된 레이저광선을 이용하여 하드 디스크 드라이브의 슬라이더(20)의 6자유도 운동을 측정하기 위한 스윙암 광학계에 있어서, 상기 슬라이더(20)의 상면에 고정되는 삼각뿔 형상의 삼면반사체(110)와, 상기 레이저광선이 상기 삼면반사체(110)의 상부 꼭지점으로 입사되도록 레이저광선의 광로를 형성하는 적어도 한 개 이상의 반사체(151, 152)와, 상기 삼면반사체(110)로부터 반사된 3갈래의 레이저광선의 진행방향에 각각 설치되는 3개의 위치검출기(131, 132, 133)와, 상기 3개의 위치검출기(131, 132, 133)로부터 검출된 레이저광선의 강도분포의 무게중심 및 상기 삼면반사체(110)의 6자유도를 분석하는 제어부(160) 및, 하단의 선단부에 상기 슬라이더(20)가 고정되고 상단의 상부에 형성된 상기 레이저광선의 광로가 상기 삼면반사체(110)의 상부 꼭지점으로 입사되도록 형성된 2단 스윙암(140)을 포함하는 슬라이더의 6자유도 운동을 측정하기 위한 스윙암 광학계가 제공된다.
Assignee
삼성전자주식회사,한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2002-08-23
Application Date
2000-05-09
Application Number
10-2000-0024654
Registration Date
2002-08-23
Registration Number
10-0351671-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/234172
Appears in Collection
ME-Patent(특허)
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