상호 자기 정렬된 다수의 식각 홈을 가지는 광결합 모듈및 그 제작방법

Abstract

본 발명은 광섬유와 광도파로를 광결합하는 장치 및 그 제작방법에 관한 것이다. 광통신 및 평면 광회로(PLC)를 광결합하는 장치에 있어서 광섬유 거치용 홈과 광도파로가 실장되는 식각홈을 패턴이 정렬된 동일 마스크 패턴으로 노광하고 동시에 이방성 식각을 행하여 가공한다. 이렇게 함으로써 두 홈을 2회 이상의 노광 공정에서 정렬하는 것보다 한 번에 간단히 정밀한 정렬을 하여 저가의 수동 정렬에서 광결합 효율을 높여주는 구조가 된다.또한, 광도파로에 입구가 몸체보다 큰 테이퍼 구조를 적용함으로써 광섬유의 수동 정렬시의 수직, 수평 방향 정렬 허용한계(tolerance)를 높여서 결과적으로 광결합 효율을 개선시키고, 수동 정렬을 쉽게 해준다. 아울러 기판 위의 두꺼운 절연막이나 도파로 자체의 두꺼운 절연막을 보드로 활용함으로써, 고주파 전기-광회로부의 조립과 응용이 가능한 구조이다. 이방성 식각, 광도파로, 광섬유, 광통신, 광결합 모듈, 자기정렬