리가공정을 이용한 3차원 미세구조물 제조장치 및 그제조방법FABRICATION APPARATUS OF 3D MICRO-STRUCTURE USING LIGAPROCESS AND METHOD THEREOF
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이승섭 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T11:28:37Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T11:28:37Z | - |
| dc.date.issued | 2006-12-07 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/234107 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 LIGA공정을 이용한 3차원 미세구조물 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 X선 투광기판상에 형성된 X선 흡수부를 구비하는 복수의 X선 마스크부가 형성된 X선 마스크에 복수의 3차원 X선 감광성 폴리머의 각 면을 정렬시켜 X선 노광함으로서 복잡한 3차원 구조물을 복수로 동시에 제작하기 위한 LIGA공정을 이용한 3차원 미세구조물 제조장치 및 그 제조방법에 관한 것이다. | - |
| dc.title | 리가공정을 이용한 3차원 미세구조물 제조장치 및 그제조방법 | - |
| dc.title.alternative | FABRICATION APPARATUS OF 3D MICRO-STRUCTURE USING LIGAPROCESS AND METHOD THEREOF | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 이승섭 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2004-0028695 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0657422-0000 | - |
| dc.date.application | 2004-04-26 | - |
| dc.date.registration | 2006-12-07 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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