전자빔을 이용한 니켈기 초합금（Ｎｉ―ｂａｓｅ ｓｕｐｅｒａｌｌｏｙ） 표면의 미세 합금화를 통한 표면개질 방법

Abstract

본 발명은 니켈기 초합금(Ni-base superalloy)의 표면에 미세 합금화층을 형성하여 니켈기 초합금 표면을 개질하는 방법에 관한 것으로서, 니켈기 초합금(Ni-base superalloy)의 표면을 실리콘 카바이트(SiC)로 연마하는 단계, 상기 연마된 니켈기 합금의 표면에 알루미늄을 증착하는 단계 및 상기 알루미늄이 증착된 니켈기 합금의 표면을 진공 챔버 내에 넣고, 전자빔을 조사하여 표면에 미세 합금화층을 형성하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 표면 미세 합금화된 니켈기 초합금은 전자빔을 이용해 니켈기 초합금의 표면을 미세 합금화 시킴으로써 고온 산화 환경 하에서 안정적인 보호피막을 형성하여 장기간 사용 시에도 건전성(integrity)을 유지할 수 있으며, 전자빔을 이용해 표면 근처의 조성 및 미세구조를 바꾸어 니켈기 초합금의 고온 산화 저항성을 향상시키고 및 우수한 크립 특성을 가져서 차세대 초고온 가스 냉각로의 열교환기 및 고온 가스로에 활용할 수 있다.