멤즈 가변 캐패시터 및 그의 구동 방법MEMS variable capacitor and method for driving the same

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본 발명은 멤즈 가변 캐패시터 및 그의 구동 방법에 관한 것이다. 즉, 본 발명의 멤즈 가변 캐패시터는 제 1 전극과; 상기 제 1 전극 상부로 부상(浮上)되어 있는 제 2 전극과; 상기 제 2 전극 측면에 이격되어 있는 고정 전극과; 상기 제 2 전극과 상기 고정 전극 사이에 위치되어 있고, 상기 제 2 전극에 연결되어 있으며, 상기 고정 전극에 인가된 전압에 의해 상기 고정 전극과 물리적으로 접촉되는 유동 전극을 포함한다.
Assignee
엘지이노텍 주식회사,한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Issue Date
2012-01-03
Application Date
2010-05-28
Application Number
10-2010-0050592
Registration Date
2012-01-03
Registration Number
10-1104603-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/234028
Appears in Collection
EE-Patent(특허)
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