박막트랜지스터용 금속 산화물 반도체 제조용 용액 조성물SOLUTION COMPOSITION FOR MANUFACTURING METAL OXIDE SEMICONDUCTOR
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 배병수 | ko |
| dc.contributor.author | 황영환 | ko |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T11:23:57Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T11:23:57Z | - |
| dc.date.issued | 2013-05-10 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/233953 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 알루미늄염, 금속 아세틸아세토네이트 및 용매를 포함하는 금속산화물반도체 제조용 용액조성물에 관한 것이다. 또한 본 발명은 상기 금속산화물반도체 제조용 용액조성물을 기판에 코팅한 후 열처리하여 금속산화물반도체를 형성하는 단계를 포함하는 금속산화물반도체 제조방법에 관한 것이다. 그리고 본 발명은 상기 게이트 기판과 중첩하여 형성된 본 발명에 의해 제조된 금속산화물반도체;상기 금속산화물반도체와 전기적으로 연결된 소스 전극;및상기 금속산화물반도체와 전기적으로 연결되며, 상기 소스 전극과 마주하는 드레인전극;을 포함하는 박막트랜지스터에 관한 것이다. | - |
| dc.title | 박막트랜지스터용 금속 산화물 반도체 제조용 용액 조성물 | - |
| dc.title.alternative | SOLUTION COMPOSITION FOR MANUFACTURING METAL OXIDE SEMICONDUCTOR | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 배병수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 황영환 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2010-0039284 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1265227-0000 | - |
| dc.date.application | 2010-04-28 | - |
| dc.date.registration | 2013-05-10 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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