박막트랜지스터용 금속 산화물 반도체 제조용 용액 조성물SOLUTION COMPOSITION FOR MANUFACTURING METAL OXIDE SEMICONDUCTOR
본 발명은 알루미늄염, 금속 아세틸아세토네이트 및 용매를 포함하는 금속산화물반도체 제조용 용액조성물에 관한 것이다. 또한 본 발명은 상기 금속산화물반도체 제조용 용액조성물을 기판에 코팅한 후 열처리하여 금속산화물반도체를 형성하는 단계를 포함하는 금속산화물반도체 제조방법에 관한 것이다. 그리고 본 발명은 상기 게이트 기판과 중첩하여 형성된 본 발명에 의해 제조된 금속산화물반도체;상기 금속산화물반도체와 전기적으로 연결된 소스 전극;및상기 금속산화물반도체와 전기적으로 연결되며, 상기 소스 전극과 마주하는 드레인전극;을 포함하는 박막트랜지스터에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2013-05-10
- Application Date
- 2010-04-28
- Application Number
- 10-2010-0039284
- Registration Date
- 2013-05-10
- Registration Number
- 10-1265227-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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