미소거울 구동기

Abstract

두축 자유도를 가지며 정전력에 의하여 구동되는 미소거울 구동기에 관하여 개시한다. 본 발명의 장치는, 절연층이 형성된 기판과; 절연층 상에 각각 형성되는 두 개의 하부기둥과; 하부기둥들 상면에 걸쳐지도록 형성되는 제1 비틀림바와; 제1 비틀림바와 직교하도록 형성되는 제2 비틀림바와; 제1 비틀림바와 제2 비틀림바의 교차에 의하여 형성되는 영역의 내측에 각각 위치되도록 절연층 상에 각각 형성되는 네 개의 전극과; 제2 비틀림바의 상면에 각각 형성되는 두 개의 상부기둥과; 상부기둥들 상면에 걸쳐짐으로써 상부기둥들에 의하여 지지 고정되도록 형성되는 미소거울을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 두 개의 상부기둥에 의하여 미소거울을 희망하는 높이까지 직접 띄울 수 있으며, 비틀림바가 미소거울의 하부에 위치됨으로써 구조체의 면적을 줄일 수 있고, 전압이 인가되는 전극에 따라 두 축 자유도를 가짐으로써 3-D 광스위치로 유용하게 사용된다. 미소거울, 정전력, 전극, 비틀림바, 기둥