푸시-풀 형태의 미소 기전 초고주파 스위치

Abstract

본 발명은 푸시-풀 형태의 미소 기전 초고주파 스위치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 표면 미세가공 기술로 제작된 비틀림 스프링과 레버를 이용한 밀고 당기는 형태의 초고주파 스위치를 제공함으로서, 낮은 전압으로 스위치가 동작할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 접지가 된 기판 상부에 고정된 다수의 고정축과, 상기 각 고정축에 연결되고 회전판을 지지하는 뒤틀림 스프링과, 상기 회전판에 연결된 지레대와, 상기 지레대에 연결된 접촉전극과, 상기 접촉전극과 대향하고 기판위에 간극을 두고 고정되어 있는 전송선과, 상기 회전판과 대향하고 기판위에 고정되어 있는 다수개의 고정전극을 포함하여 구성됨으로써, 낮은 동작전압으로 스위치가 동작할 수 있도록 하는 효과가 있다.푸시-풀, 미소 기전, 초고주파 스위치