DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | 윤의식 | ko |
dc.contributor.author | 윤준보 | ko |
dc.contributor.author | 이형규 | ko |
dc.date.accessioned | 2017-12-20T11:22:56Z | - |
dc.date.available | 2017-12-20T11:22:56Z | - |
dc.date.issued | 2004-09-30 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/233922 | - |
dc.description.abstract | 정전 구동기에 관하여 개시한다. 본 발명의 정전 구동기는 주전극과 구동체에 사이에 복수 층의 보조전극을 더 위치시키고, 주전극과 인접한 보조전극간, 인접하는 보조전극들 상호간, 및 구동체와 인접한 보조전극간에 정전인력이 발생되도록 주전극, 각각의 보조전극들과, 및 구동체에 양전하 또는 음전하를 가하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 유기된 전하들 사이의 거리를 줄임으로써 정전인력을 증가시켜 종래보다 구동 전압이 낮은 경우에도 종래와 동일한 또는 큰 구동 범위를 유지할 수 있으므로, 구동체에 거울을 형성한 광학 스위치, 고주파 스위치, 또는 가변형 정전 용량기 등 여러 가지 MEMS 소자에 폭넓게 응용될 수 있다. 정전 구동기, 전극, 구동체, 비틀림스프링, 스프링, 전하, 정전인력 | - |
dc.title | 정전 구동기 | - |
dc.title.alternative | Electrostatic Actuator | - |
dc.type | Patent | - |
dc.type.rims | PAT | - |
dc.contributor.localauthor | 윤의식 | - |
dc.contributor.localauthor | 윤준보 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이형규 | - |
dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2001-0043075 | - |
dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0452112-0000 | - |
dc.date.application | 2001-07-18 | - |
dc.date.registration | 2004-09-30 | - |
dc.publisher.country | KO | - |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.