온칩 적층형 스파이럴 인덕터On-Chip Stack Spiral Inductor
온칩 적층형 스파이럴 인덕터를 개시한다. 본 발명의 온칩 적층형 스파이럴 인덕터는 반도체 기판 상에 적층되고 서로 병렬로 연결된 복수의 플래너 스파이럴 인덕터들을 포함하고, 복수의 플래너 스파이럴 인덕터들은 상층에서 하층으로 갈수록 선폭이 굵어진다. 따라서 최상층 플래너 스파이럴 인덕터의 선폭에 비해 하층의 플래너 스파이럴 인덕터들의 선폭이 더 굵게 형성되므로 하 층의 시리얼 저항값이 상층의 시리얼 저항값 보다 작은 값을 갖게 된다. 그러므로 전체적인 인덕터의 유효 시리즈 저항값은 각 층의 병렬저항들의 합으로 산출되기 때문에 감소된다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Issue Date
- 2012-12-24
- Application Date
- 2012-01-19
- Application Number
- 10-2012-0006102
- Registration Date
- 2012-12-24
- Registration Number
- 10-1216946-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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